概念动态联合化学新增“光刻机”概念
发布时间:2025-08-28 06:15:03点击量:
据同花顺数据显示,入选理由是:根据2025年半年报:目前罡景光学的光学产品分为高中低端三类产品:1)高端光学系统(物镜及照明系统)应用于前道KrF和iline光刻机,最高可实现110nm分辨率,预计25年Q4开始交付;2)中端光学系统(物镜及照明系统)应用于封装投影光刻机及封装直写光刻机,超大视场(>
据同花顺数据显示,入选理由是:根据2025年半年报:目前罡景光学的光学产品分为高中低端三类产品:1)高端光学系统(物镜及照明系统)应用于前道KrF和iline光刻机,最高可实现110nm分辨率,预计25年Q4开始交付;2)中端光学系统(物镜及照明系统)应用于封装投影光刻机及封装直写光刻机,超大视场(120mm x 120mm)适应于先进封装发展需求,预计26年Q1交付;3)低端光学系统(物镜及照明系统)应用于光伏投影光刻机,分辨率5μm,可支持每小时8000片曝光产能,已实现20套小批量出货。